نموذج

K1000A

K1000B

K1000C

مواصفات تدفق ( N2 تحويل تدفق )

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

بن 2 : 30 ~ 100sccm SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600slm / 1000slm ( N2 ، H2 ، الهواء الخ )

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

صمام نوع

ن / س : عادة مفتوحة ، ن / ج : عادة مغلقة

ن / ج : عادة مغلقة

نطاق التحكم في التدفق

2%～100%F.S.

دقة

100 ٪ ~ 25 ٪ : ± 1.0 في المائة من s.p .
25 ٪ ~ 2 ٪ : ± 0.25 ٪ و .
( دقة ضمان مدى 15-35 ℃ )

± 1 ٪ f.s . ( ضمان دقة تتراوح من 15 إلى 35 ℃ )

± 2 ٪ f.s . ( ضمان دقة تتراوح من 15 إلى 35 ℃ )

درجة حرارة بيئة العمل

5 - 50 درجة مئوية

5 - 45 درجة مئوية

زمن الاستجابة

≦1sec

≦3sec

خطي

± 0.5 في المائة f.s .

تكرار الدقة

± 0.2 في المائة f.s .

مجموعة ضغط العمل

N/O100-300KPA ( 3SLM-10SLM )

50-300KPA

N/O150-300KPA ( 11-30 حركة تحرير السودان )

200～300KPa

( ع : 100-300KPA )

N/C100-300KPA ( 3SLM-30SLM )

（Ar: 250～450KPa）

100-300KPA

150-300KPA

300-450 كيلوباسكال ( H2 : 150-300 كيلوباسكال )

（Ar 200～3500KPa）

معامل درجة الحرارة

صفر : ± 0.1 في المائة f.s . / ℃ سبان : ± 0.1 في المائة f.s . / ℃

أقصى ضغط العمل

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

تحمل الجهد

1MPa

معدل التسرب

معدن ختم : 1 * 10^{- 11}با م³( 1 × 10 )^{- 10}أجهزة الصراف الآلي CC / SEC He (

ختم مطاط : 1 × 10^-7با م³( 1 × 10 )^{- 6}أجهزة الصراف الآلي CC / SEC He (

ختم مطاط : 1 × 10^{- 7}با م³( 1 × 10 )^{- 6}أجهزة الصراف الآلي CC / SEC He (

ختم المواد

معدن ختم ; الفلور المطاط ؛ كلوروبرين المطاط

الفلور المطاط ؛ كلوروبرين المطاط

نموذج الاتصال

التناظرية : 0 ~ 5V العاصمة الرقمية : RS485 ، DeviceNet ، EtherCAT

التناظرية : 0 ~ 5V العاصمة الرقمية : RS485 ، DeviceNet ،

قوة إمداد تموين

التناظرية / الرقمية : 50mA + 15VDC ، 200mA - 15VDC ; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

معيار شكل مشترك

فيديو 1 / 4 ، 1 / 4 ، 1.5 ' w-seal ، 1.125 ' w-seal ، 1.125 ' c-seal

فيديو 3 / 8 ذكر موصل ، موصل مزدوج 3 / 8 ذكر

فيديو 1 / 2 ذكر موصل ، موصل مزدوج 1 / 2 ذكر

وزن .

1.0kg

3.0kg

3.7kg