التلقائي مجهر القوة الذرية
afm5500m التلقائي بالكامل مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) هو تحسين كبير في التشغيل و دقة القياس . المعدات في ناتئ استبدال الليزر المحاذاة ، اختبار إعداد المعلمة وغيرها من الروابط لتوفير التشغيل الآلي منصة . وضعت حديثا عالية الدقة الماسح الضوئي ، وانخفاض الضوضاء 3-axis محث تحسين دقة القياس إلى حد كبير . وعلاوة على ذلك ، فإن الملاحظة المتبادلة والتحليل في نفس المجال البصري يمكن أن تتحقق بسهولة من خلال نموذج مشترك sem-afm تنسيق الجدول .
- رمز الوصف
الشركة : هيتاشي هيتاشي
-
مميزات
-
بارامتر
-
Movie
-
تطبيق البيانات
مميزات
1 - وظائف التشغيل الآلي
- درجة عالية من التكامل التلقائي وظيفة لتحقيق كفاءة عالية في الكشف عن
- الحد من الأخطاء البشرية في الكشف
4 بوصة السيارات الجدول
التلقائي استبدال وظيفة ناتئ
2 - الموثوقية
القضاء على الأخطاء الناجمة عن أسباب ميكانيكية
- مجموعة واسعة من المسح الأفقي
- مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) مع أنبوب الماسح الضوئي يستخدم عادة للحصول على بيانات الطائرة من خلال برامج التصحيح . ومع ذلك ، فإن تأثير حركة دائرية من الماسح الضوئي لا يمكن القضاء عليها تماما من خلال برامج التصحيح .
إن afm5500m مجهزة أحدث الماسح الضوئي الأفقي ، والتي يمكن تحقيق اختبار دقيق لا تتأثر قوس الحركة .
Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
- عالية الدقة قياس زاوية
- الماسحات الضوئية المستخدمة في مجهر القوة الذرية العادية تميل إلى أن تكون منحنية عندما تمتد عموديا . هذا هو السبب المباشر في شكل صورة الخطأ في الاتجاه الأفقي .
العلامة التجارية الجديدة الماسح الضوئي التي شنت في afm5500m لا ينحني في الاتجاه الرأسي ، ويمكن الحصول على الصورة الصحيحة دون تشويه في الاتجاه الأفقي .
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
- * عند استخدام afm5100n ( open-loop السيطرة )
3 - التكامل
طرق أخرى للكشف عن تحليل التقارب
باستخدام SEM - فؤاد تنسيق مشترك عينة الجدول ، يمكننا أن نلاحظ بسرعة تضاريس السطح ، وهيكل ، وتكوينها ، والخصائص الفيزيائية من العينات في نفس المجال البصري .
sem-afm لوحظ في نفس المجال البصري ( عينة : الجرافين / سيو )2و
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
الصورة أعلاه هو تطبيق بيانات الصورة ( فؤاد ) و الصورة المحتملة ( KFM ) التي تم التقاطها من قبل afm5500m و SEM الصورة على التوالي .
- من خلال تحليل الصور فؤاد ، سمك طبقة الجرافين تتميز SEM التباين .
- عدد طبقات مختلفة من الجرافين يؤدي إلى تباين سطح المحتملة ( وظيفة العمل ) .
- ووزارة شؤون المرأة صورة مختلفة على النقيض من ذلك ، يمكن العثور على السبب من خلال قياس عالية الدقة 3D تضاريس و تحليل الخصائص الفيزيائية SPM .
ومن المقرر أن تستخدم في المستقبل جنبا إلى جنب مع غيرها من المجاهر والأدوات التحليلية .
بارامتر
ماداتاي | السيارات الدقة الجدول أقصى مدى المراقبة : 100 مم ( 4 بوصة ) في جميع أنحاء العالم نطاق الحركة : س ص ± 50 ملم ، ض ≥ 21 ملم الحد الأدنى من الخطوات : س ص 2 ميكرومتر ، ض 0.04 ميكرومتر |
---|---|
أقصى حجم العينة | قطر : 100 مم ( 4 بوصة ) وسمك : 20 مم وزن العينة : 2 كجم |
مسح مجموعة | 200 ميكرومتر × 200 ميكرومتر × 15 ميكرومتر ( س ص : حلقة مغلقة التحكم / ض : مراقبة أجهزة الاستشعار ) |
RMS مستوى الضجيج * | أقل من 0.04 نانومتر ( عالية الدقة واسطة ) |
إعادة الدقة * | س ص : ≤ 15 نانومتر ( 3 سيغما ، 10 μ م قياس المسافة القياسية ) / ض : ≤ 1 نانومتر ( 3 سيغما ، 100 نانومتر قياس العمق القياسي ) |
س ص زاوية مستقيمة | ± 0.5 ° |
BOW* | أقل من 2 نانومتر / 50 ميكرومتر |
طريقة الكشف | الكشف عن الليزر ( انخفاض تدخل النظام البصري ) |
المجهر الضوئي | التكبير : X1 ~ X7 مجال الرؤية : 910 ميكرومتر × 650 ميكرومتر ~ 130 ميكرومتر × 90 ميكرومتر عرض التكبير : x465 ~ x3 255 ( 27 بوصة عرض ) |
امتصاص الصدمات الجدول | الجدول نوع نشط امتصاص الصدمات الجدول 500 ملم ( ث ) س 600 ملم ( د ) س 84 ملم ( ح ) ، حوالي 28 كجم |
غطاء الصوت | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 حوالي 237 كجم |
الحجم والوزن | 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、 حوالي 90 كجم |
- * المعلمات المرتبطة تكوين الجهاز ووضع البيئة .
OS | Windows7 |
---|---|
RealTune ® II | تلقائيا ضبط ناتئ السعة ، قوة الاتصال ، سرعة المسح الضوئي ، إشارة التغذية المرتدة |
تشغيل الشاشة | تعمل وظيفة الملاحة ، متعدد نافذة عرض وظيفة ( اختبار / تحليل ) ، صورة ثلاثية الأبعاد تراكب وظيفة ، مجموعة المسح / قياس تاريخ عرض وظيفة ، وظيفة تحليل البيانات دفعة ، يدقق في وظيفة التقييم |
س ، ص ، ض مسح الجهد القيادة | 0~150 V |
اختبار الزمن ( بكسل ) | 4 صور ( ماكس 2 , 048 × 2 , 048 ) 2 صورة ( ماكس 4 , 096 × 4 , 096 ) |
مسح مستطيل | 2 : 1 , 4 : 1 , 8 : 1 , 16 : 1 , 32 : 1 , 64 : 1 , 128 : 1 , 256 : 1 , 512 : 1 , 1 , 024 : 1 |
تحليل البرمجيات | 3D عرض وظيفة ، خشونة التحليل ، تحليل القسم |
وظيفة التحكم الآلي | التلقائي استبدال ناتئ ، التلقائي محاذاة الليزر |
الحجم والوزن | 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、 حوالي 34 كجم |
قوة إمداد تموين | AC100 ~ 240 الخامس ± 10 ٪ AC |
طريقة الاختبار | المواصفات : فؤاد ، سوق دبي المالي ، م ( المرحلة ) ، الاتحاد الفرنسي للتنس : اختي اختي التشكل ، الخصائص الفيزيائية ، LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM |
- * ويندوز هو علامة تجارية مسجلة لشركة مايكروسوفت في الولايات المتحدة الأمريكية وغيرها من البلدان .
- * RealTune هو علامة تجارية مسجلة لشركة هيتاشي للعلوم والتكنولوجيا العالية في اليابان والولايات المتحدة وأوروبا .
هيتاشي SEM | su8240 ، su8230 ( H36 ملم ) ، su8220 ( H29 ملم ) |
---|---|
حجم العينة | 41 mm(W) x 28 mm(D) x 16 mm (H) |
أقصى حجم العينة | Φ20 mm x 7 mm |
دقة المحاذاة | ± 10 ميكرومتر ( دقة محاذاة فؤاد ) |
Movie
تطبيق البيانات
- ملاحظة الجرافين / سيو في نفس المجال البصري في sem-spm تنسيق مشترك2( PDF / 750KBytes )
تطبيق البيانات
تطبيق بيانات المسح مجهر التحقيق هو عرض .
إيضاحات
شرح مبدأ الدولة مبدأ المسح المجهر النفقي ( STM ) مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) .
التاريخ والتنمية SPM
وصف التاريخ وتطوير المسح المجهري التحقيق والمعدات لدينا . (Global site)